| 分類 | 装置 | |
|---|---|---|
| 環境試験装置 |
I.Rリフロー BGAリボール装置 基板実装リワーク装置 マイクロルータ 自動・手動テーピング装置 真空パック自動機 ボンディング装置 |
高温ハンドラ バーイン・オーブン 環境試験用オーブン サーモ・ストリーム ウイスカー評価装置 メニスコハンダ付け性評価装置 |
| テスタ/測定器 |
LSIテスタ（A/Dテスタ） パワーデバイス用テスタ 半導体パラメータ・アナライザ ロジックアナライザ シグナルアナライザ |
パターン・パルス発生器 マイグレーションテスタ ESDテスタ デジタルオシロ LCRメータ |
| 故障箇所特定装置 |
エミッション顕微鏡 |
IR-OBIRCH |
| 観察・分析装置 |
光学顕微鏡 自動外観検査機 レーザー顕微鏡 超音波顕微鏡（SAT） X-Ray CT-Scan/3D |
FE-SEM EDX組成分析装置 汎用TEM EELS SIMS |
| 試料加工装置 |
高精度ラッピング装置 基板研磨装置 断面研磨機 マイクロダイサ RIE装置 FIB装置（回路修正用） FIB-SEM-Arトリプルビーム装置（断面作製用） |
コータ CP(クロスセクションポリッシャー) イオンミリング レーザー・マーカ 酸アルカリベンチ 有機ベンチ モールドオープナ（オートデキャッパー） |
